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光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计 Article
温众普, 吴剑威, 邢坤鹏, 张银, 李结安, 谭久彬
《工程（英文）》 2021年 第7卷 第2期 页码 226-237 doi: 10.1016/j.eng.2019.09.012
在光刻机可变狭缝系统（VS）中，紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构。研究表明，导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能。然而，微结构微米级变化对导轨性能的影响尚不清晰。文中采用作者提出的网格自适应法，定量研究了微结构四个参数的影响，揭示了微结构变化对导轨负载性能的影响规律，并利用这些规律对微结构参数进行设计。实验结果表明，采用该方法所设计导轨的转动刚度达到2.14 × 104 Nm·rad–1，提高了69.8%。在ArF光刻机上的VS上对气浮导轨进行加速扫描实验，平均扫描加速度达到67.5 m·s–2，
达到了设计要求。
关键词： 光刻机 复合节流静压气浮导轨 微结构 工作点 转动刚度
孟心斋,杨建玺,孟昭焱
《中国工程科学》 2002年 第4卷 第5期 页码 63-66
文章分析了液体静压支承传统的静态性能表达式存在的严重缺陷及其产生原因，提出了新的静态性能表达式。这种新的静态性能表达式精确地表达了外加载荷与轴承间隙之间的非线性关系，真实地反映了支承的静态性能。新的静态性能通用表达式可表达各种传统节流器与新型可变节流器节流时支承的主要静态性能，很有应用价值。新的静态性能表达式只有一个变量即外加载荷与油垫推力比，故可在支承节流与尺寸参数未确定之前知道支承的主要静态性能，它有利于事先选择与确定支承在应用时的主要性能，为正确应用液体静压支承提供了可靠的技术基础。
孟心斋,孟昭焱
《中国工程科学》 2005年 第7卷 第3期 页码 49-52
传统的液体静压支承节流器存在严重缺陷，性能不佳，不能消除支承间隙随外加载荷增加而剧减的缺点，严重影响其实际应用。新型节流器节流变量指数b≥3，能够保持节流器进油与油囊排油速度接近一致。此外，当有外加载荷作用于支承时，油囊压力会升高，迫使节流变量产生附加增量，从而弥补了因油囊压力升高而减少供油量与油囊增加的排油量。因此，新型节流器能够保证在有外加载荷作用时支承间隙变化很小或近于不变。新型节流器节流性能优良，结构简单，成本低廉，体积较小，具有实用价值。
杜金名
《中国工程科学》 2005年 第7卷 第1期 页码 65-68
气体静压轴承广泛应用于航空、航天、精密电子工业中。三轴转台是高精度的测试设备，用来对惯性系统和惯性元件进行检定、标定以及建立相应的误差模型，它的测试精度直接影响航空、航天等飞行器的控制和导航。多孔质气体静压轴承同其他节流形式的轴承相比具有很高的承载能力、静态刚度以及很好的阻尼效应。文章对多孔质气体静压轴承进行了理论分析，并同气体静压小孔节流轴承的静态性能进行了比较，结果表明，此类轴承的承载能力明显优于小孔节流轴承。
彭又新,郑莉,林贵平
《中国工程科学》 2009年 第11卷 第11期 页码 51-55
主要论述了全静压受感器的冰风洞试验技术，着重介绍了该仪器的冰风洞试验项目、试验条件及参数测量校准方法，并从航空仪器仪表公司的冰风洞的自身特点出发
一种去除地表水中的磷的浮岛处理系统 Article
Mark T. Brown, Treavor Boyer, R.J. Sindelar, Sam Arden, Amar Persaud, Sherry Brandt-Williams
《工程（英文）》 2018年 第4卷 第5期 页码 597-609 doi: 10.1016/j.eng.2018.08.002
刘学彦,袁大军,姜 曦
《中国工程科学》 2015年 第17卷 第1期 页码 88-95
运用理论分析和数值计算相结合的方法，分别从施工期和运营期角度提出了隧道抗浮稳定合理覆土厚度设定原则和理论计算方法；对于隧道施工期，考虑土体侧向摩阻力和管片环间摩阻力的影响等较为有利因素，同时考虑未凝浆液的影响等不利因素，建立了合理覆土厚度的理论计算公式；对于隧道运营期，建议只考虑隧道上覆土体自重进行抗浮，对于存在洪水冲刷的隧道设计，其上覆土体厚度还要加上设计冲刷深度；为南京某在建隧道的纵断面设计提供了一定的参考，同时也为其他过江海盾构隧道满足抗浮稳定的覆土厚度设定提供理论支持
王海舟,李美玲,庄景云
《中国工程科学》 2011年 第13卷 第10期 页码 19-27
采用原位统计分布分析表征技术系统研究了GH169高温合金压气机盘纵断面不同部位铌分布的规律。以所得到的与样品原位置相对应的数以万计原始信号系统解析为基础，进而获得压气机盘锻件的纵断面不同部位铌的定量统计分布信息以及加工工艺过程中铌的迁移规律。准确计算判定了盘纵断面不同部位铌的最大偏析度，提出了95 %置信度时中位值置信扩展率,即统计偏析度（S）新参数，用以表征铌在压气机盘中分布的均匀度；提出了所有数据在特定含量区间（C0压气机盘件纵断面不同部位铌的分布均匀度和符合度，为加工后盘件的质量控制评估提供了参考。
陈 渭,范洪杰,吴连军
《中国工程科学》 2013年 第15卷 第1期 页码 21-27
对已有的水润滑轴承研究成果进行了总结，对影响水润滑高速主轴轴承性能的关键技术和近期国内外研究工作的主要成果进行了分析和评述；从轴承结构、热变形等方面评述了水润滑轴承的设计方法。最后，对今后水润滑高速主轴轴承研究的趋势进行了说明和展望。
标题 作者 时间 类型 操作
一种去除地表水中的磷的浮岛处理系统
Mark T. Brown, Treavor Boyer, R.J. Sindelar, Sam Arden, Amar Persaud, Sherry Brandt-Williams
期刊论文
京公网安备 11010502051620号
